一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置[发明专利]

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专利名称：一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置专利类型：发明专利

发明人：孙昊,刘铮,涂颂昊,郝大维,王遵义,刘琨,郭宝川,张雪

囡,由佰玲,王彦君

申请号：CN2015106795.7申请日：20151019公开号：CN105200511A公开日：20151230

摘要：本发明提供了一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，包括外接压缩空气管道、内接压缩空气管道和清炉气盘，所述清炉气盘为一圆盘，所述圆盘一端面上设置有进气口，另一端面设置有若干个均匀分布的气孔，所述清炉气盘设置气孔的一端与炉体上设置的轴体一端固定连接，所述内接压缩空气管道一端与所述进气口相连，另一端固定在炉体上，所述外接压缩空气管道一端在所述炉体上与所述内接压缩空气管道相连，另一端与气源相连。本发明所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置结构简单，操作方便，可快速清炉，提高了工时利用率，从而提高了产能，降低了成本，且清炉较彻底，为单晶品质的提升提供了基础保障。

申请人：天津市环欧半导体材料技术有限公司

地址：300384 天津市滨海新区高新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号

国籍：CN

代理机构：天津滨海科纬知识产权代理有限公司

代理人：陈雅洁

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