新型平面辐射加热器[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：新型平面辐射加热器专利类型：实用新型专利

发明人：舒勇华,李帅辉,樊菁,刘宏立申请号：CN200520115041.1申请日：20050802公开号：CN2814869Y公开日：20060906

摘要：本实用新型公开了一种新型平面辐射加热器，包括：基片托盘、加热丝支撑板和若干加热丝，支撑板位于基片托盘上方，加热丝为直线形，所述加热丝相互平行，位于同一面上，并按照一定密度均布在所述支撑板上，所述加热丝的两端分别通过金属连接件相并联连接，同时通过该金属连接件导入电流。本实用新型加热丝没有弯曲部位，可以最大限度地保证发热体均匀；加热丝支撑板同时具有隔热板的作用，使加热丝的连接部位置于高温区外，从而大大提高了加热器的温度均匀性和寿命。不仅可以使基片表面温度可达1000℃，而且基片表面温度为900℃时，6吋硅基片表面温度差小于20℃；与传统加热器相比，本实用新型寿命延长大于20倍。

申请人：中国科学院力学研究所

地址：100080 北京市海淀区北四环西路15号

国籍：CN

代理机构：北京中创阳光知识产权代理有限责任公司

代理人：尹振启

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