专利名称：基于重构-等效啁啾的半边切趾取样光栅及DFB激
光器
专利类型：发明专利发明人：刘胜平,陈向飞,陆骏申请号：CN201510644601.0申请日：20151008公开号：CN105207055A公开日：20151230
摘要：本发明公开了一种基于重构-等效啁啾技术的半边切趾取样光栅及DFB激光器。所述取样光栅中含有通过重构-等效啁啾技术引入的相移，相移位于整个取样光栅中心的+/-5％区域范围内，相移被引入了除0级之外的所有影子光栅中；取样光栅中的切趾是通过先在衬底上制作金属镍为掩膜的取样光栅结构，再经过光刻和干法刻蚀这两步工艺的多次重复制作光栅齿深逐渐变化的取样光栅结构实现的，半边切趾是指只改变取样光栅一侧的光栅齿深变化，即DFB半导体激光器出光端一侧；等效相移区和另外一侧的光栅齿深均采用最大值。所述的DFB半导体激光器中含有上面制作的基于重构-等效啁啾技术的半边切趾取样光栅。
申请人：南京大学(苏州)高新技术研究院
地址：215123 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号
国籍：CN
代理机构：北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
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