一种旋转铟锡合金靶材的制作装置[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种旋转铟锡合金靶材的制作装置专利类型：实用新型专利发明人：魏明刚

申请号：CN201821574742.5申请日：20180927公开号：CN2088697U公开日：20190517

摘要：本实用新型公开了一种旋转铟锡合金靶材的制作装置，包括操作台，所述操作台的顶端固定安装有机架，所述机架的内侧固定连接有切割安装盒，所述切割安装盒的内部一侧设置有电机，所述电机的一侧通过转轴转动连接有丝杠，所述丝杠的外侧套设有丝杠副换套，所述丝杠副换套的底端固定连接有切割头安装架，所述切割头安装架的外侧通过转轴转动连接有连接架，所述连接架的内侧设置有切割头安装罩，本实用新型设置了连接架、撑簧和切割头安装罩，解决了使用旋转铟锡合金靶材的制作装置时，由于旋转铟锡合金靶材的制作装置的切割头直接固定到移动装置上，切割头缺少向下压力，难以快速将靶材切割成型，影响旋转硅铝合金靶材的使用的安全性的问题。

申请人：深圳市福耐科技有限公司

地址：518000 广东省深圳市宝安区沙井街道107国道林坡坑沙头工业区A.B栋A栋二楼205

国籍：CN

代理机构：北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：陈娟

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