专利名称：一种含氧化合物辅助一步氮化法制备金属氮化物薄
膜的方法
专利类型：发明专利
发明人：李朝升,方涛,黄辉庭,祝梅,邹志刚申请号：CN201810350852.1申请日：20180418公开号：CN108640092A公开日：20181012
摘要：一种含氧化合物辅助一步氮化法制备金属氮化物薄膜的方法，1)取少量的含氧化合物置于刚玉瓷舟底部；2)将金属薄膜置于步骤1)中的刚玉瓷舟顶部；3)将步骤2)中放置了前驱体刚玉瓷舟在氨气气氛中800℃～900℃煅烧1小时以上，得到氮化钽薄膜。可用于太阳能转换技术领域，其以金属钽薄膜为前驱体；采用含氧化合物辅助一步氮化的方法，把金属钽薄膜转化为氮化钽薄膜。
申请人：南京大学
地址：210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
国籍：CN
代理机构：南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人：陈建和
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