衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法[发明专利]

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专利名称：衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法专利类型：发明专利发明人：桑原丈二,村井征尔申请号：CN201910757476.2申请日：20190816公开号：CN110943016A公开日：20200331

摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法。通常，第2衬底搬送机构被设定为从衬底缓冲部向载置在开启器的前开式晶圆盒搬送衬底。然而，在满足规定条件的情况下，第2衬底搬送机构从前开式晶圆盒向衬底缓冲部搬送衬底。也就是说，第2衬底搬送机构进行与通常的衬底搬送动作不同的动作。由此，第2衬底搬送机构能够在从特定前开式晶圆盒取出所有衬底后至将所有已处理过的衬底收纳到特定前开式晶圆盒为止的期间，使特定前开式晶圆盒停留在特定前开式晶圆盒的载置位置(开启器)。由此，前开式晶圆盒搬送机构能够搬送除特定前开式晶圆盒以外的前开式晶圆盒，所以能够提高前开式晶圆盒的搬送效率。

申请人：株式会社斯库林集团

地址：日本京都

国籍：JP

代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司

代理人：陈甜甜

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