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用于衬底的热处理的装置、用于该装置的载体和衬底支撑元件[发明专利]

来源：吉趣旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：用于衬底的热处理的装置、用于该装置的载体和衬

底支撑元件

专利类型：发明专利发明人：T.皮拉,L.冯里韦尔申请号：CN201780001149.3申请日：20170519公开号：CN107851593A公开日：20180327

摘要：用于衬底的热处理的已知装置具有加热设备和设有用于衬底的支撑表面的载体。在已知装置的基础上，根据本发明而建议一种准许高衬底吞吐量的装置，因为载体的至少部分由包括无定形基质成分和以半导体材料的形式的附加成分的复合材料产生，其中将作为加热设备的部分并且由当电流经过它时生成热量的导电电阻材料制成的导体路径施加于复合材料的表面。

申请人：贺利氏特种光源有限责任公司

地址：德国哈瑙

国籍：DE

代理机构：中国专利代理()有限公司

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