全自动硅片插片机[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：全自动硅片插片机专利类型：发明专利

发明人：刘景超,姜磊,蔡鹏光,张发强,秦俊涛申请号：CN201610966901.5申请日：20161028公开号：CN1063909A公开日：20170201

摘要：本发明公开了一种全自动硅片插片机，其具有前端硅片输送装置，前端硅片输送装置后部设置篮具输送装置，其具有：篮具升降机构；篮具夹紧机构，其设置在篮具升降机构上方，包括用于抓取篮具的两组机械手；空篮具输送带，其设置在篮具升降机构一侧，空篮具输送带末端可翻转地设置篮具取放机构；满载篮具输送带，其设置在篮具升降机构另一侧，满载篮具输送带始端可翻转地设置篮具取放机构。本发明有效实现机器代替人工的生产模式，上料速度快，碎片率低，极大地提升了生产效率，降低了生产成本，篮具输送装置能将空篮具送至插片工位，待插片完成后能将篮具移至输出位置。

申请人：上海锴士自动化科技有限公司

地址：201611 上海市松江区车阳路116号文昌企业园1号楼1楼

国籍：CN

代理机构：北京挺立专利事务所(普通合伙)

代理人：倪钜芳

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