一种高温升温环境下石墨坩埚温场的延展测量方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201811199659.9 （22）申请日 2018.10.16

（71）申请人 天津百腾信科技有限公司

地址 300000 天津市东丽区华明高新技术产业区弘晟道2-1-106室

（10）申请公布号 CN1094059A

（43）申请公布日 2019.03.01

（72）发明人 徐涛;李亮;赵志强;李云 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种高温升温环境下石墨坩埚温场的延展测量方法

（57）摘要

本发明属于温场测量技术领域，尤其涉及

一种高温升温环境下石墨坩埚温场的延展测量方法，本方法包括按照升温热场中石墨坩埚高度将其平均分为若干段，在分段的石墨坩埚每段设置一个测温用热电偶，若升温热场中石墨坩埚在500℃～1500℃范围内，通过采样记录测温数据并形成{每一时刻的测温采样数据，N个热电偶温值}为集合的采样数据表，将采样数据表中每一时刻的测温采样数据对应的热电偶温值通过数据拟

合方法拟合为升温规律曲线，延展升温规律曲线的定义域与值域并形成扩展升温规律曲线，本发明解决了现有技术采用常规的热电偶测温，当温度超过2000℃时，测温设备由于过热而失效的问题，具有解决了高温石墨坩埚难以测温的工程问题、测量均匀且精度高的有益技术效果。

法律状态

法律状态公告日2019-03-01 2019-03-01 2019-03-26

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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权利要求说明书

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说明书

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