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级联缺陷检查

来源：吉趣旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201880007230.7 （22）申请日 2018.01.18 （71）申请人 ASML荷兰有限公司

地址荷兰维德霍温

（10）申请公布号 CN110709887A

（43）申请公布日 2020.01.17

（72）发明人陈志超;方伟

（74）专利代理机构北京市金杜律师事务所

代理人王茂华

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

级联缺陷检查

（57）摘要

公开了一种缺陷检查系统。根据某些实施

例，该系统包括存储器，该存储器存储被实现为多个模块的指令。多个模块中的每个模块被配置为检测具有不同属性的缺陷。该系统还包括控制器，该控制器被配置为使计算机系统：接收表示晶片的图像的检查数据；将检查数据输入到多个模块中的第一模块，第一模块输出具有第一属性的第一组兴趣点(POI)；将第一组POI输入到多个模块中的第二模块，第二模块输出具有第二属性

的第二组POI；以及报告第二组POI作为具有第一属性和第二属性两者的缺陷。

法律状态

法律状态公告日

2020-01-17 2020-01-17 2020-02-18

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效

法律状态

公开公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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