一种玻璃微蚀刻方法[发明专利]

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专利名称：一种玻璃微蚀刻方法专利类型：发明专利发明人：杨金发

申请号：CN201910308840.7申请日：20190417公开号：CN110156338A公开日：20190823

摘要：本发明公开了一种玻璃微蚀刻方法，包括：在玻璃表面均匀涂覆金属铬形成铬层，在铬层表面均匀涂覆光刻胶形成胶层后得到覆膜玻璃；将覆膜玻璃曝光显影后得到预蚀刻玻璃；将预蚀刻玻璃投入蚀刻机中，采用蚀刻液进行蚀刻减薄；其中，所述蚀刻液的原料按质量百分比包括：HSO30‑40％、HF 1.1‑2％、HCl 0.1‑0.5％、HNO 0.1‑1％、草酸0.2‑1％、脂肪醇聚氧乙烯醚0.03‑0.5％，余量为去离子水。本发明提出的玻璃微蚀刻方法，其过程简单，蚀刻良率高，可实现量产。

申请人：蚌埠国显科技有限公司

地址：233000 安徽省蚌埠市黄山大道8009号

国籍：CN

代理机构：合肥远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：段晓微

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