一种用于玻璃蚀刻的组合物及蚀刻工艺[发明专利]

(12)发明专利申请

(10)申请公布号 CN 112456809 A(43)申请公布日 2021.03.09

(21)申请号 202011521269.6(22)申请日 2020.12.21

(71)申请人 蓝思科技（长沙）有限公司

地址 410100 湖南沙沙经济技术

开发区漓湘路99号(72)发明人 张喜华　赵军华　

(74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

公司 11227

代理人 任洁芳(51)Int.Cl.

C03C 15/00(2006.01)

权利要求书2页 说明书10页

()发明名称

一种用于玻璃蚀刻的组合物及蚀刻工艺(57)摘要

本申请公开了一种用于玻璃蚀刻的组合物，包括：氟化氢铵5‑20重量份；氟化氢0.8‑4重量份；多聚甘油50‑80重量份；二氧化硅0.1‑2重量份；羟基乙叉二磷酸或柠檬酸0.1‑1重量份；水10‑30重量份；所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1‑10):1。本申请还提供一种使用上述组合物蚀刻玻璃的工艺。本申请提供用于玻璃蚀刻的组合物及玻璃蚀刻工艺，蚀刻性能好，尤其适用于高铝玻璃的蚀刻，能够满足市场对大尺寸超精细高铝玻璃的需求。

CN 112456809 ACN 112456809 A

权　利　要　求　书

1/2页

1.一种用于玻璃蚀刻的组合物，其特征在于，包括：

所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。2.根据权利要求1所述的用于蚀刻玻璃的组合物，其特征在于，包括：

所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的用于蚀刻玻璃的组合物，其特征在于，所述氟化氢铵的重量份，小于氟化氢铵在所用重量份的水中溶解的最大溶解量；所述羟基乙叉二磷酸的重量份，小于羟基乙叉二磷酸在所用重量份的水中溶解的最大溶解量；所述柠檬酸的重量份，小于柠檬酸在所用重量份的水中溶解的最大溶解量。

4.根据权利要求1-2中任一项所述的用于蚀刻玻璃的组合物，其特征在于，所述多聚甘油的聚合度为5-10。

5.根据权利要求1-2中任一项所述的用于蚀刻玻璃的组合物，其特征在于，所述二氧化硅具体为高纯二氧化硅，所述高纯二氧化硅的纯度大于99.5％。

6.一种利用权利要求1-5中任一项所述的组合物蚀刻玻璃的工艺，其特征在于，包括以下步骤：

预处理；第一清洗；蒙砂处理：将第一清洗后的玻璃匀速传送，同时将温度为25-35℃的所述组合物淋浴在玻璃上；

第二清洗；抛光；第三清洗。

7.根据权利要求6所述的工艺，其特征在于，所述蒙砂处理步骤中，使用水刀装置，使组合物形成水幕，淋浴在玻璃上；和/或，

2

CN 112456809 A

权　利　要　求　书

2/2页

所述玻璃的传送速度为7-10m/min，使得所述组合物淋浴在玻璃上以后停留30-60s。8.根据权利要求6-7中任一项所述的工艺，其特征在于，所述组合物经混匀并熟化5-10h后使用。

9.根据权利要求6所述的工艺，其特征在于，所述预处理步骤中，使用温度为30-40℃的复配酸，对玻璃表面淋浴酸洗60-90s，所述复配酸由氢氟酸与硫酸组成；和/或，

所述抛光步骤中，使用温度在25-35℃的复配酸，淋浴在第二清洗后的玻璃表面，抛光时间为5-30min，所述复配酸由氢氟酸与硫酸组成。

10.根据权利要求9所述的工艺，其特征在于，所述氢氟酸与硫酸的摩尔比为(1-1.5):1，所述预处理步骤使用的复配酸质量浓度为2-3％，所述抛光步骤使用的复配酸质量浓度为5-7％。

11.根据权利要求6所述的工艺，其特征在于，所述第一清洗步骤中，使用电阻率大于15MΩ的纯水对玻璃刷洗180s以上，干燥；

所述第二清洗步骤中，使用水温为30-50℃的纯水淋浴经蒙砂处理后的玻璃，玻璃的传送速度为3-9m/min；然后再使用常温纯水对玻璃表面冲刷30-60s，保持玻璃处于湿润状态；

所述第三清洗步骤中，使用水温为30-50℃的纯水淋浴经抛光后的玻璃，玻璃的传送速度为3-9m/min；然后使用常温纯水对玻璃表面冲刷60-120s，干燥。

12.根据权利要求11所述的工艺，其特征在于，干燥具体为使用温度为40-60℃、压力为0.1-0.3MPa的压缩空气对玻璃表面进行吹扫风干30-60s。

3

CN 112456809 A

说　明　书

一种用于玻璃蚀刻的组合物及蚀刻工艺

1/10页

技术领域

[0001]本申请涉及玻璃制备技术领域，特别是涉及一种用于玻璃蚀刻的组合物及蚀刻工艺。

背景技术

[0002]防眩玻璃，又称防眩光玻璃，英文名称为AG Glass(anti-glare glass)，是将玻璃表面进行特殊处理后得到的玻璃。防眩玻璃能够有效降低玻璃的反射比，从而降低环境光的干扰。

[0003]防眩玻璃通过在玻璃表面进行蒙砂处理制备。蒙砂处理包括物理喷涂和化学蚀刻两种方法。物理喷涂制成的AG玻璃表面为微米级颗粒的简单堆积，颗粒外形的不规则带来光线散射的不确定性，影响显示效果，且物理喷涂形成的AG玻璃表面稳定性较差，长期户外使用表层容易脱落。而化学蚀刻采用无机强酸、碱金属盐等制成蚀刻剂，形成的玻璃表面结构稳定，雾度可控。

[0004]防眩玻璃的粗糙度通常在50-400nm之间，其中粗糙度在50-150nm范围内的防眩玻璃被称为超精细AG玻璃，既能达到良好的防眩效果，同时具有较高的光泽度和透光率的玻璃，常用在车载、高精密度电子显示屏产品上，在户外或者强光环境下，极大减轻眼睛对视物的感光疲劳，且不影响视物的高清晰度。

[0005]目前普通钠钙玻璃的蒙砂工艺较为成熟，但高铝玻璃(氧化铝含量大于12％的玻璃)，其氧化铝含量较钠钙玻璃高得多，几乎不含有钙元素，钠的含量也很低，常用的化学蚀刻剂对高铝玻璃的蚀刻效果较差。尤其是对于长宽在1000mm-2000mm之间的大尺寸玻璃而言，现有蚀刻剂难以达到均匀蚀刻的效果，无法满足市场需求。发明内容

[0006]为解决上述技术问题，本发明的第一个目的为提供一种用于玻璃蚀刻的组合物；本发明的第二个目的为提供一种使用上述组合物蚀刻玻璃的方法；本申请提供用于玻璃蚀刻的组合物及玻璃蚀刻工艺，蚀刻性能好，尤其适用于高铝玻璃的蚀刻，能够满足市场对大尺寸超精细高铝玻璃的需求。

[0007]本发明提供的技术方案如下：[0008]一种用于玻璃蚀刻的组合物，包括：

4

CN 112456809 A

说　明　书

2/10页

[0009]

[0010][0011]

所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。优选地，包括：

[0012]

[0013]

所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。

[0014]优选地，所述氟化氢铵的重量份，小于氟化氢铵在所用重量份的水中溶解的最大溶解量；所述羟基乙叉二磷酸的重量份，小于羟基乙叉二磷酸在所用重量份的水中溶解的最大溶解量；所述柠檬酸的重量份，小于柠檬酸在所用重量份的水中溶解的最大溶解量。[0015]优选地，所述多聚甘油的聚合度为5-10。[0016]优选地，所述二氧化硅具体为高纯二氧化硅，所述高纯二氧化硅的纯度大于99.5％。

[0017]一种利用上述任一项所述的组合物蚀刻玻璃的工艺，包括以下步骤：[0018]预处理；[0019]第一清洗；[0020]蒙砂处理：将第一清洗后的玻璃匀速传送，同时将温度为25-35℃的所述组合物淋浴在玻璃上；

[0021]第二清洗；[0022]抛光；[0023]第三清洗。[0024]优选地，所述蒙砂处理步骤中，使用水刀装置，使组合物形成水幕，淋浴在玻璃上；和/或，

[0025]所述玻璃的传送速度为7-10m/min，使得所述组合物淋浴在玻璃上以后停留30-60s。

[0026]优选地，所述组合物经混匀并熟化5-10h后使用。[0027]优选地，所述预处理步骤中，使用温度为30-40℃的复配酸，对玻璃表面淋浴酸洗

5

CN 112456809 A

说　明　书

3/10页

60-90s，所述复配酸由氢氟酸与硫酸组成；和/或，[0028]所述抛光步骤中，使用温度在25-35℃的复配酸，淋浴在第二清洗后的玻璃表面，抛光时间为5-30min，所述复配酸由氢氟酸与硫酸组成。[0029]优选地，所述氢氟酸与硫酸的摩尔比为(1-1.5):1，所述预处理步骤使用的复配酸质量浓度为2-3％，所述抛光步骤使用的复配酸质量浓度为5-7％。[0030]优选地，所述第一清洗步骤中，使用电阻率大于15MΩ的纯水对玻璃刷洗180s以上，干燥；

[0031]所述第二清洗步骤中，使用水温为30-50℃的纯水淋浴经蒙砂处理后的玻璃，玻璃的传送速度为3-9m/min；然后再使用常温纯水对玻璃表面冲刷30-60s，保持玻璃处于湿润状态；

[0032]所述第三清洗步骤中，使用水温为30-50℃的纯水淋浴经抛光后的玻璃，玻璃的传送速度为3-9m/min；然后使用常温纯水对玻璃表面冲刷60-120s，干燥。[0033]优选地，干燥具体为使用温度为40-60℃、压力为0.1-0.3MPa的压缩空气对玻璃表面进行吹扫风干30-60s。

[0034]本申请首先提供一种用于玻璃蚀刻的组合物，包括氟化氢铵5-20重量份；氟化氢0.8-4重量份；多聚甘油50-80重量份；二氧化硅0.1-2重量份；羟基乙叉二磷酸0.1-1重量份；水10-30重量份；所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。本申请提供的组合物，透明无颗粒，粘度大于30cp，密度大于1.2g/ml，挥发性很小，配置简单，且保存寿命可达半年，稳定性高，并且具有良好的蚀刻性能，尤其适用于高铝玻璃的蚀刻，并能满足长宽均在1000mm-2000mm之间的大尺寸玻璃蚀刻的要求，蚀刻后的玻璃表面粗糙度能达到50-150nm，从而满足市场对大尺寸超精细高铝玻璃的需求。

[0035]本申请还提供一种利用上述任一项所述的组合物蚀刻玻璃的工艺，将由氟化氢铵、氟化氢、多聚甘油、二氧化硅、羟基乙叉二磷酸、水组成的蚀刻剂，结合水刀淋浴的工艺过程，对玻璃、尤其是大尺寸高铝玻璃进行蚀刻，蚀刻后的玻璃玻璃表面无凹点、凸点、白点、亮点，粗糙度为50-150nm，光泽度为60-120Gu，雾度6-12％，连续生产的稳定好，便于批量生产。

具体实施方式

[0036]为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。[0037]本申请实施例采用递进的方式撰写。

[0038]本发明实施例提供一种用于玻璃蚀刻的组合物，包括：

6

CN 112456809 A

说　明　书

4/10页

[0039]

所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。

[0041]高铝玻璃是指氧化铝含量大于12％的玻璃，具有硬度大，化学稳定好，机械强度高等优点，在电子行业应用非常广泛。高铝玻璃以氧化硅和氧化铝为基本骨架，几乎不含有钙元素、同时钠元素含量也很低，化学抗性较大，无法利用玻璃中含有的钠、钙与药剂中的氢氟酸产生氟硅酸盐，因此蚀刻速度很慢，玻璃中的氧化铝和氧化硅成分被蚀刻的速度还不一样，且在玻璃上沉积的氟硅酸盐晶体有足够的时间长大，会在玻璃表面形成大颗粒，使蚀刻的粗糙度大于150nm，并且形成有闪点的毛面，效果差。尤其是大尺寸的玻璃进行蚀刻时，蚀刻剂单位时间内需要水解出来的氟化氢就越多，实际上水解速度跟不上消耗的速度，造成蚀刻速度更慢，因此玻璃表面的颗粒更大，闪点更多更明显，产品不良率较高。而现有蚀刻剂为了解决此问题，通常是向蚀刻剂配方中加入氟化钾、氟化钠或其他金属离子的氟盐，以促进氟硅酸盐形成。但因氟硅酸钾/钠晶型的性质，作用在玻璃上形成的粗糙度一般在150-400nm，难以满足制备粗糙度在50-150nm玻璃的需求。[0042]针对现有技术存在的问题，本申请首先提供一种用于玻璃蚀刻的组合物，包括氟化氢铵5-20重量份；氟化氢0.8-4重量份；多聚甘油50-80重量份；二氧化硅0.1-2重量份；羟基乙叉二磷酸或柠檬酸0.1-1重量份；水10-30重量份；所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。本申请提供的组合物，透明无颗粒，粘度大于30cp，密度大于1.2g/ml，挥发性很小，配置简单，且保存寿命可达半年，稳定性高，并且具有良好的蚀刻性能，尤其适用于高铝玻璃的蚀刻，并能满足长宽均在1000mm-2000mm之间的大尺寸玻璃蚀刻的要求，蚀刻后的玻璃表面粗糙度能达到50-150nm，从而满足市场对大尺寸超精细高铝玻璃的需求。[0043]具体而言，本申请提供的组合物，添加氟化氢，与氟化氢铵组合使用，解决氟化氢铵水解生成氟化氢不足的问题，在蚀刻玻璃时能够产生更多的氟化氢，加快玻璃被腐蚀的速度，避免玻璃中不同组分因蚀刻速度不同影响蚀刻粗糙度的问题发生，从而有效降低蚀刻后玻璃表面的粗糙度；并利用二氧化硅与氟化氢铵、氟化氢反应生成氟硅酸铵，作为玻璃蒙砂结晶反应的起始物，促使玻璃快速形成均匀毛面效果。同时，由于生成的硅酸盐主要是氟硅酸铵，铵离子是本申请提供的组合物中已然存在的阳离子，而没有再引入其他的阳离子，不会影响蚀刻的粗糙度，从而保证蚀刻的粗糙度能够在50-150nm之间。本申请限定了氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1，氟化氢铵的用量要大于氟化氢的用量，可以保证蚀刻剂蒙砂处理的效果。[0044]进一步的，本申请提供的组合物中还加入了羟基乙叉二磷酸或柠檬酸作为螯合剂，可与二价金属离子形成水溶性络合物，从而螯合除去不同玻璃材料中可能存在的二价金属离子，进一步避免二价金属离子对蚀刻粗糙度造成影响。至于高铝玻璃本身可能存在

7

[0040]

CN 112456809 A

说　明　书

5/10页

的少量钠、钾离子，由于钠、钾离子的氟硅酸盐粒径小，晶型稳定，不会对蚀刻的均匀性产生影响；而本申请提供的组合物，没有引入新的钾、钠离子，也就不会造成蚀刻后玻璃表面蒙砂不均。同时，而铝离子是高铝玻璃的主要成分之一，本申请添加的羟基乙叉二磷酸或柠檬酸也不会螯合铝离子，避免对玻璃产生不良影响。[0045]本申请优选选用羟基乙叉二磷酸，在水中溶解度较大，分散性好，能够更好的起到螯合金属离子的效果，使产生的氟硅酸盐主要为氟硅酸铵，有利于形成均匀的毛面玻璃。[0046]本申请提供的组合物，还加入了多聚甘油。多聚甘油为多羟基醇，粘稠液体，可与水任意混溶，能够与水及水中的氟化氢、氟化氢铵形成氢键，抑制氟化氢的挥发，降低氟化氢铵的分解性，促进加入的氟化氢，以及氟化氢铵水解出的氟化氢在组合物体系中快速达到均衡，从而保持玻璃蚀刻效果的稳定，并且能保证操作人员和环境的安全。同时，多聚甘油具有高密度、高粘度、难挥发的特性，使得配方中加入的氟硅酸铵，或二氧化硅与氟化氢反应生成的氟硅酸铵不容易发生扩散，而能成为晶核，然后长大成大小均匀的颗粒，在溶液体系中被均匀压集在玻璃表面，作为玻璃表面氟硅酸铵晶体的起始剂，避免了玻璃蚀刻的“迟钝”反应，加快蚀刻速度，促使玻璃快速形成毛面效果，避免晶体过大导致粗糙度无法满足要求的问题发生。

[0047]现有技术中使用的二元醇、三元醇等物质，在含量低于80％时，粘度急剧降低且表面张力急剧升高，几乎与水相似，不能维持组合物粘度稳定，无法形成稳定无裂缝的水幕用于蚀刻玻璃。而若添加表面活性剂，在蚀刻剂循环运行过程中容易产生泡沫，使用淋浴设备进行蚀刻时，泡沫会导致玻璃表面产生明显上砂异色或上砂不均的问题，影响蚀刻效果。而本申请提供的组合物，影响组合物粘度的主要组分是多聚甘油，粘度稳定，能够促进蚀刻剂形成均匀的水幕，满足淋浴蚀刻的工艺要求。[0048]本申请所用的氟化氢，优选配置成40wt％的水溶液使用，所含有的氟化氢的重量份为0.8-4重量份。[0049]优选地，包括：

[0050]

所述氟化氢铵与氟化氢的重量比为(1.1-10):1。[0052]优选地，所述氟化氢铵的重量份，小于氟化氢铵在所用重量份的水中溶解的最大溶解量；所述羟基乙叉二磷酸的重量份，小于羟基乙叉二磷酸在所用重量份的水中溶解的最大溶解量；所述柠檬酸的重量份，小于柠檬酸在所用重量份的水中溶解的最大溶解量。[0053]组合物中所用的氟化氢铵、羟基乙叉二磷酸、柠檬酸的重量，要分别小于氟化氢铵、羟基乙叉二磷酸、柠檬酸在所用重量份的水中溶解的最大溶解量，保证氟化氢铵、羟基乙叉二磷酸、柠檬酸能够溶解在水中。此处的最大溶解量，以该物质在水中的溶解度乘以配

8

[0051]

CN 112456809 A

说　明　书

6/10页

方中水的重量份计算。例如，使用6重量份的氟化氢铵、5重量份的氟化氢、75重量份的多聚甘油、1重量份的二氧化硅、1重量份的羟基乙叉二磷和12重量份的水组成组合物时，氟化氢铵6重量份的用量，是小于12重量份的水所能够溶解的氟化氢铵的总量的；而羟基乙叉二磷1重量份的用量，也是小于12重量份的水所能够溶解的羟基乙叉二磷的总量的。[00]优选地，所述多聚甘油的聚合度为5-10。[0055]优选本发明所用的多聚甘油，聚合度为5-10，即使用五聚甘油、六聚甘油、七聚甘油、八聚甘油、九聚甘油、十聚甘油中的任意一种或多种。[0056]优选地，所述二氧化硅具体为高纯二氧化硅，所述高纯二氧化硅的纯度大于99.5％。

[0057]一种利用上述任一项所述的组合物蚀刻玻璃的工艺，包括以下步骤：[0058]预处理；[0059]第一清洗；[0060]蒙砂处理：将第一清洗后的玻璃匀速传送，同时将温度为25-35℃的所述组合物淋浴在玻璃上；

[0061]第二清洗；[0062]抛光；[0063]第三清洗。

[00]本申请还提供一种利用上述任一项所述的组合物蚀刻玻璃的工艺，将由氟化氢铵、氟化氢、多聚甘油、二氧化硅、羟基乙叉二磷酸、水组成的蚀刻剂，结合水刀淋浴的工艺过程，对玻璃、尤其是大尺寸高铝玻璃进行蚀刻，蚀刻后的玻璃玻璃表面无凹点、凸点、白点、亮点，粗糙度为50-150nm，光泽度为60-120Gu，雾度6-12％，连续生产的稳定好，便于批量生产。

[0065]本申请提供的工艺，包括预处理、第一清洗、蒙砂处理、第二清洗、抛光、第三清洗的步骤，通常是对一面用保护膜保护的洁净的玻璃来料进行加工，加工得到单面被蚀刻的玻璃；也可在加工完成后翻面再次进行蚀刻，以得到双面被蚀刻的玻璃。[0066]优选地，所述蒙砂处理步骤中，使用水刀装置，使组合物形成水幕，淋浴在玻璃上；和/或，

[0067]所述玻璃的传送速度为7-10m/min，使得所述组合物淋浴在玻璃上以后停留30-60s。

[0068]本申请提供的工艺，蒙砂处理过程中，将玻璃匀速传送(例如将玻璃放置在传送带上传送)，并将上述组合物(即蚀刻剂)使用水刀装置形成水幕，玻璃在传送过程中经过水幕，使得蚀刻剂淋浴在玻璃表面，对玻璃进行蚀刻。通过控制玻璃传送的速度可以控制蚀刻反应的快慢。

[0069]本申请所用的水刀装置，是本领域常用的装置，其由宽板围成刀口，蚀刻剂从刀口喷出，形成均匀稳定的水幕，对玻璃进行蚀刻。使用水刀装置进行玻璃蚀刻，整个工艺流程中，玻璃为平躺式前进，中间不需在不同设备中转置，也不需设计相应的夹治具，适合流水线操作；同时由于采用淋浴式的蚀刻方式，无需设计适应大尺寸玻璃浸泡的浸泡池，更不用设计与浸泡工艺相适应的工装、翻转、周转夹具。

[0070]而能够使用水刀装置形成水幕的蚀刻工艺，也是因为本申请提供的用于蚀刻玻璃

9

CN 112456809 A

说　明　书

7/10页

的组合物，采用了特定重量份的氟化氢铵、氟化氢、多聚甘油、二氧化硅、羟基乙叉二磷酸、水复配，使得制成的蚀刻剂粘度适宜，密度大、表面张力小容易成膜，不含固体物，挥发性小，对玻璃腐蚀速度快，能够以较小速度在水刀装置的刀口处稳定形成一整张无裂缝的均匀水幕，且水幕不会出现波纹或者鱼鳞状现象，从而保证蚀刻剂淋浴到大尺寸玻璃表面时，不会剧烈的各向异性性流动，从而避免造成局部粗糙度不均匀的问题出现，同时也能避免蚀刻剂在刀口处凝固、堵塞刀口。[0071]现有技术中所用的蚀刻剂，通常组成复杂，包含大量的不溶性物质，粘度较大，容易凝固造成堵塞，因而只适合由喷管排列的淋砂装置，同时为了不堵塞管道需要以较大流速运行，喷淋在玻璃表面后，液体溅射范围大，造成还未行进至喷管下的玻璃局部被点状腐蚀，从而造成不良；且蚀刻剂中包含的不溶性物质在被冲击后容易团聚，也容易造成粗糙度不均。上述问题，本申请提供的组合物结合水刀装置形成水幕的蚀刻工艺都能解决，适合大尺寸玻璃的蚀刻生产，结合自动化流水线操作，可以做到产品的稳定的批量输出。[0072]优选地，所述组合物经混匀并熟化5-10h后使用。[0073]本申请提供的用于蚀刻玻璃的组合物，只需要搅拌混匀并熟化5-10h后即可使用，挥发性小，调配好的药水密封避光保存近8个月，药水质控指标均没有变化。且用在生产中无异常。说明本申请提供的组合物，保存寿命可达半年，无需研磨至纳米级，操作简便。[0074]优选地，所述预处理步骤中，使用温度为30-40℃的复配酸，对玻璃表面淋浴酸洗60-90s，所述复配酸由氢氟酸与硫酸组成；和/或，[0075]所述抛光步骤中，使用温度在25-35℃的复配酸，淋浴在第二清洗后的玻璃表面，抛光时间为5-30min，所述复配酸由氢氟酸与硫酸组成。[0076]优选地，所述氢氟酸与硫酸的摩尔比为(1-1.5):1，所述预处理步骤使用的复配酸质量浓度为2-3％，所述抛光步骤使用的复配酸质量浓度为5-7％。[0077]其中，预处理步骤中，优选使用温度为30-40℃的复配酸对玻璃表面淋浴酸洗60-90s，使复配酸持续均匀反应；抛光步骤中，优选使用温度在25-35℃的复配酸，淋浴在第二清洗后的玻璃表面，抛光时间为5-30min。抛光时间的控制可以由控制玻璃的传送速度实现，优选控制玻璃的传送速度为1-5m/min。抛光可以将结合在玻璃表面的盐去除干净。另外，通过抛光工序得参数调整，可以实现满足客户需要的相应的雾度、光泽度等。[0078]预处理时间要求较短，并且由于是作用在镜面玻璃上，所以温度要求相对较高。而抛光时间较长，且是作用在蒙砂后的毛面玻璃上，温度较预处理低，有利于缓慢控制想要得到的光泽度，雾度等光学性能参数，且避免蚀刻过快形成的氟硅酸盐不能及时分散而形成流痕异色等不良。

[0079]氢氟酸与硫酸的摩尔比为(1-1.5):1、优选1:1。预处理步骤使用的复配酸质量浓度为2-3％，所述抛光步骤使用的复配酸质量浓度为5-7％。[0080]优选地，所述第一清洗步骤中，使用电阻率大于15MΩ的纯水对玻璃刷洗180s以上，干燥；

[0081]所述第二清洗步骤中，使用水温为30-50℃的纯水淋浴经蒙砂处理后的玻璃，玻璃的传送速度为3-9m/min；然后再使用常温纯水对玻璃表面冲刷30-60s，保持玻璃处于湿润状态；

[0082]所述第三清洗步骤中，使用水温为30-50℃的纯水淋浴经抛光后的玻璃，玻璃的传

10

CN 112456809 A

说　明　书

8/10页

送速度为3-9m/min；然后使用常温纯水对玻璃表面冲刷60-120s，干燥。[0083]优选地，干燥具体为使用温度为40-60℃、压力为0.1-0.3MPa的压缩空气对玻璃表面进行吹扫风干30-60s。[0084]第一清洗后，为避免水分影响蚀刻剂的蚀刻效果，需要对玻璃进行干燥，优选使用温度为40-60℃、压力为0.1-0.3MPa的压缩空气对玻璃表面进行吹扫风干，风干时间为30-60s。优选使用0.2-2mm宽的风刀提供干燥用的热风。[0085]其中，常温是指20-25℃。[0086]实施例1-4、

[0087]实施例1-4所用的组合物，各原料的重量份如下表所示：

[0088]

[00]

其中，实施例1-4所用的40wt％氟化氢水溶液的重量份中，分别含有2重量份、3.6重量份、2重量份、0.8重量份的氟化氢。[0091]将上述组合物，按上述重量份搅拌均匀，熟化10h，制得蚀刻剂。[0092]使用实施例1-4的蚀刻剂，按照以下工序蚀刻高铝玻璃。所使用的玻璃来料康宁公司生产的GG3型号，玻璃尺寸为长1200mm*宽1500mm。[0093]蚀刻工艺包括以下步骤：[0094]预处理：使用温度为30-40℃的复配酸，对玻璃表面淋浴酸洗60-90s，所述复配酸由摩尔比为1:1的氢氟酸与硫酸组成，复配酸的质量浓度为2％；[0095]第一清洗：使用电阻率大于15MΩ的纯水对玻璃刷洗180s以上，使用温度为40-60℃、压力为0.1-0.3MPa的压缩空气对玻璃表面进行吹扫风干30-60s，使得玻璃表面干燥；[0096]蒙砂处理：将第一清洗后的玻璃匀速传送，玻璃的传送速度为9m/min，使用水刀装置，使温度为25-35℃的所述组合物形成水幕，淋浴在玻璃上，使得所述组合物淋浴在玻璃上以后停留30-60s；[0097]第二清洗：使用水温为30-50℃的纯水淋浴经蒙砂处理后的玻璃，玻璃的传送速度为3-9m/min；然后再使用常温纯水对玻璃表面冲刷30-60s，保持玻璃处于湿润状态；[0098]抛光：使用温度在25-35℃的复配酸，淋浴在第二清洗后的玻璃表面，抛光时间为5-30min，所述复配酸由摩尔比为1:1的氢氟酸与硫酸组成，复配酸质量浓度为5％；[0099]第三清洗：使用水温为30-50℃的纯水淋浴经抛光后的玻璃，玻璃的传送速度为3-11

[0090]

CN 112456809 A

说　明　书

9/10页

9m/min；然后使用常温纯水对玻璃表面冲刷60-120s，然后使用温度为40-60℃、压力为0.1-0.3MPa的压缩空气对玻璃表面进行吹扫风干30-60s，是玻璃干燥。[0100]对比例1

[0101]所用的蚀刻剂组成如下：

[0102]

[0103][0104][0105]

蚀刻剂的制备，所蚀刻玻璃的规格，以及蚀刻工艺，与实施例1-4相同。对比例2

所用的蚀刻剂组成如下：

[0106]

[0107]

蚀刻剂的制备，所蚀刻玻璃的规格，以及蚀刻工艺，与实施例1-4相同。

[0108]对实施例1-4和对比例1-2蚀刻制备的AG玻璃，分别取取5个测试点进行粗糙度、光泽度、雾度检测，获得的数据如下表所示：

[0109]

12

CN 112456809 A

说　明　书

10/10页

[0110]

[0111]

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。

对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

13