太阳能多晶硅片的制备方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：太阳能多晶硅片的制备方法专利类型：发明专利

发明人：陈诺夫,尹志岗,陈晨龙,阮绍林,阮正亚,韩正国申请号：CN2007101320.3申请日：20070920公开号：CN101392406A公开日：20090325

摘要：本发明涉及多晶硅片制备技术领域，尤其是一种太阳能多晶硅片的制备方法，解决传统方法的能耗高、利用率低和制成品价格高的缺点，工艺过程为：一)将柔性衬底清洗处理后装入化学气相沉积反应炉；二)将化学气相沉积反应炉内抽真空，真空抽好后再往炉内通氢气；三)将化学气相沉积反应炉加热；四)待温度稳定后，通入三氯氢硅和氢气，发生反应；五)反应生成的硅原子连续沉积在柔性衬底上，生长形成柔性多晶硅薄板；六)生长结束以后，停止三氯氢硅输入，继续通氢气，降温；七)待温度降到室温以后，停止氢气输入，通入氮气；八)待化学气相沉积反应炉内的压力升到标准大气压以后，停止氮气输入，取出生长形成的柔性多晶硅薄膜片。

申请人：常州英诺能源技术有限公司

地址：213023 江苏省常州市钟楼区钟楼开发区棕桐路南

国籍：CN

代理机构：常州市维益专利事务所

代理人：王凌霄

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