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真空阀及使用该真空阀的真空压力控制系统

来源：吉趣旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201710404800.3 （22）申请日 2017.06.01 （71）申请人 C K D株式会社

地址日本爱知县

（10）申请公布号 CN107461539A

（43）申请公布日 2017.12.12

（72）发明人伊藤稔;渡边雅之;桥口诚二

（74）专利代理机构北京金信知识产权代理有限公司

代理人苏萌萌

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

真空阀及使用该真空阀的真空压力控制系统

（57）摘要

本发明提供一种真空阀及使用该真空阀的

真空压力控制系统。真空阀(2)被配置在真空容器(8)与真空泵(9)之间，并通过操作流体而对阀开度进行调节，其中，被安装在活塞(25)的凹槽(26)中的垫片(27)具有：接触部(271)，其被设置在径向内侧；和滑动接触部(272)，其被设置在接触部(271)的径向外侧，且与气缸(20)的内周面(24)相接，接触部(271)与滑动接触部(272)之间的壁厚被设置得较薄。

法律状态

法律状态公告日

2017-12-12 2017-12-12 2017-12-12 2019-01-11 2019-01-11 2019-11-08

法律状态信息

公开公开公开

实质审查的生效实质审查的生效授权

法律状态

公开公开公开

实质审查的生效实质审查的生效授权

权利要求说明书

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说明书

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