纳米颗粒的制备方法可分为以下几种
一、机械粉碎法
机械粉碎就是在粉碎力的作用下，固体料 块或粒子发生变形进而破裂，产生更微细的颗粒。物料的基本粉碎方式是压碎、剪碎、冲击粉碎和磨碎；
二、蒸发凝聚法
蒸发凝聚法是将纳米粒子的原料加热、蒸发，使之成为原子或分子；再使许多原子或分子凝聚，生成极微细的纳米粒子。利用这种方法得到的粒子一般在5到100nm之间；
三、离子溅射法
用两块金属板分别作为阴极和阳极，阴极为蒸发用材料，在两电极间充入Ar，两极间施加的电压范围为0.3到1.5kV。由于两极间的辉光放电使Ar粒子形成，在电场作用下Ar离子冲击阳极靶材表面，使靶材原子从其表面蒸发出来形成超微粒子，并在附着面上沉积下来。